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    中微公司第1500个CCP刻蚀设备反应台顺利付运

    2021年11月2日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，股票代码：688012）迎来了一个重要的里程碑：中微公司的电容耦合高能等离子体（CCP）刻蚀设备第1500个反应台顺利付运国内一家领先的半导体制造商。本次交付的PrimoD-RIE®刻蚀设备反应台来自该客户的重复订单。 

    等离子体 primo
    315次 0条 2021-11-05

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