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涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空
晒版机的主要工作流程为：抽真空；次曝光；风机冷却；蒙版拉出；二次曝光；蒙版回位；风机停止。晒版机控制系统软件流程。晒版机的上位HMI监控画面由HT770T系列触摸屏制作，主要显示了设备的运行状态，包括相应的动画、参数设置和显示等。晒版机的控制画面。在草作画面中，可以对各个受控量的状态进行监视，中间为
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