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晒版机的主要工作流程为:抽真空;次曝光;风机冷却;蒙版拉出;二次曝光;蒙版回位;风机停止。晒版机控制系统软件流程。晒版机的上位HMI监控画面由HT770T系列触摸屏制作,主要显示了设备的运行状态,包括相应的动画、参数设置和显示等。晒版机的控制画面。在草作画面中,可以对各个受控量的状态进行监视,中间为
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