中国芯片取得重大技术突破绕开EUV光刻机

   近日复旦大学在国际顶尖期刊《自然电子学》上发布了一篇名为《硅和二硫化钼异质互补场效应晶体管》的论文,指出可以将传统硅基晶体管转变为二叠晶体管,将之命名为CFET技术,这被认为是全球最先进的芯片技术,可望倍增芯片性能。

  芯片的性能提升主要是通过增加晶体管的方式来提升性能,此前的先进芯片制造工艺就是通过不断缩小晶体管的体积,从而在同样体积的芯片中集成更多晶体管提升芯片性能,此前从20nm向16nm转变的时候,台积电由于没有采用新的FinFET技术而导致性能提升有限,加入FinFET技术16nm才得以提升性能,就体现芯片技术的重要性。

  复旦大学提出的CFET技术正是替代FinFET乃至更新的GAAFET的技术,它通过将硅基晶体管转变为二叠晶体管从而倍增晶体管数量,从而大幅提升芯片性能,这对于中国现有的芯片制造工艺极具意义。

  中国目前大规模量产的最先进工艺是14nmFinFET,如果加入复旦大学的CFET技术,14nm就可以生产出性能媲美7nm工艺的芯片,这可以满足国内近九成的芯片;中芯国际即将量产接近7nm工艺,加入CFET技术那么就可以生产出性能媲美5nm的芯片,更可以满足国内99%的芯片需求。

  可以说复旦大学研发的CFET技术有助于中国绕开当前EUV光刻机的限制,中国芯片的生产问题将彻底得到解决,这对于ASML来说将是重大打击,毕竟当前全球已兴起绕开EUV光刻机的热潮。

  其实绕开EUV光刻机并非虚幻,全球最先研发绕开EUV光刻机芯片制造工艺当属日本,日本研发的无需EUV光刻机的NIL工艺在性能方面满足铠侠存储芯片的性能需求之外,还大幅降低成本,据此日本正力推NIL往5nm工艺演进,这证明了中国研发新的芯片制造工艺完全是可行。

  尤为让ASML难受的是它积极跟随美国,然而美国的美光科技也在绕开EUV光刻机研发1β工艺,美国光刻机企业Zyvex Labs也研发了绕开EUV光刻机的电子束光刻机,并且工艺突破了EUV光刻机所能达到1nm极限,这更是会要了ASML的老命。

  随着全球兴起绕开EUV光刻机的芯片制造工艺,ASML可能将会陷入困境,ASML的主要利润来自于EUV光刻机,而下一代EUV光刻机更是下了巨资研发,如果所有芯片企业都不再需要EUV光刻机,那么ASML赖以自傲的EUV光刻机将再无用武之地,可以说ASML应该已对此后悔莫及。

  ASML本来还做着赚大钱的美梦,第一代EUV光刻机售价1.2亿美元已赚得盆满钵满,它计划将第二代EUV光刻机定价4亿美元,光刻机正变成印钞机,然而中国、日本、美国都在绕开EUV光刻机,ASML的美梦正在破灭,或许它会因此而再回到2005年之前那样吃了上顿没下顿的苦日子吧。

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