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分子束外延

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  • 窥见中国MBE市场——分子束外延专利情况分析

    随着半导体市场,特别是化合物半导体市场的逐步开放和增长,分子束外延作为一种新发展起来的外延制膜方法而逐渐崭露头角。分子束外延技术是在半导体工艺中近十几年来发展起来的一项新技术,它是在超高真空条件下,类似于真空蒸发镀把构成晶体的各个组分和予掺杂的原子(分子),以一定的热运动速度,按一定的比例从喷射炉中

    655次 0条 2021-12-10