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半导体设备零部件种类复杂、行业分散化程度高，其高壁垒主要在于：技术壁垒、认证壁垒和原材料壁垒。
需求角度看，石英件、RF射频发生器、泵、阀门、静电卡盘、喷淋头、边缘环的采购需求较大，占比分别为11%、10%、10%、9%、9%、8%、6%。
国产化角度看，石英、喷淋头、边缘环国产化率>10%；射频发生器、MFC、机械臂在1%-5%之间；而阀门、静电卡盘、测量仪表、O-ring不足1%。
设备厂商成本视角测算：2022年全球半导体设备零部件需求400亿美元；国产半导体设备厂商采购需求近141亿元。
设备厂商采购视角：设备厂商在手订单充沛，2倍超前采购趋势显著；结构上，气体输送系统、机械类、电气类、机电一体类采购比例高。
建议关注：北方华创、万业企业、江丰电子、光力科技、神工股份、新莱应材、华亚智能、石英股份、华卓精科（未上市）、富创精密（未上市）。
风险提示：（1）下游扩产不及预期；（2）国产设备放量不及预期；（3）贸易争端影响上游供应
来源：方正证券
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