这类设备进口额美国独占鳌头：离子注入机海关数据分析- 工业快报

离子注入机由离子源、离子引入和质量分析器、加速管、扫描系统和工艺腔组成，可以根据实际需要省去次要部位。离子源是离子注入机的主要部位，作用是把需要注入的元素气态粒子电离成离子，决定要注入离子的种类和束流强度。离子源直流放电或高频放电产生的电子作为轰击粒子，当外来电子的能量高于原子的电离电位时，通过碰撞使元素发生电离。碰撞后除了原始电子外，还出现正电子和二次电子。正离子进入质量分析器选出需要的离子，再经过加速器获得较高能量，由四级透镜聚焦后进入靶室，进行离子注入。

常用的生产型离子注入机主要有三种类型：低能大束流注入机、高能注入机和中束流注入机。离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制，克服了常规工艺的限制，提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命，降低了成本和功耗。离子注入机广泛用于掺杂工艺，可以满足浅结、低温和精确控制等要求，已成为集成电路制造工艺中必不可少的关键装备。

2021年是“十四五”开局之年，中国政府也推出了一系列激励政策来鼓励半导体产业发展，明确了半导体产业在产业升级中的重要地位，同时全球自2020年爆发的“芯片荒”在全球范围内愈演愈烈，却迟迟得不到缓解，各行各业都受到了一定的影响，受此影响包括仪器产业、新能源产业等在内的诸多产业都面临产品涨价、缺货的危机。危中有机，全球半导体行业的巨震却是中国半导体产业的发展契机，各地开启了大量新建项目，促进了半导体设备的采购。通过分析海关离子注入机的进口情况，可以从一个侧面反映出中国离子注入机市场的一些情况，进而了解到中国半导体产业的一些情况。

为了解2021年离子注入机的进出口情况，仪器信息网特别对2021年1-11月，离子注入机（商品编码：84862050）进出口数据进行了分析汇总，为大家了解中国目前离子注入机市场做一个参考。

2021年1-11月离子注入机进出口额变化（人民币/万元）

2021年1-11月离子注入机进出口数据

	数量（台）	质量（kg）	金额（人民币/元）
进口	358	6483975	5440473937
出口	138	104242	54102815

2021年1-11月，中国进口离子注入机总额约54亿元，总台数达358台，而出口离子注入机总金额仅5410万元，数量138台，可以看出，出口数量约为进口的1/3，而出口额仅为进口额的1%，相差悬殊。这表明，我们离子注入机产品进口依赖严重，特别是高端产品依赖进口，目前只能出口价格较低的低端产品，同时对高端产品需求强烈。离子注入机主要用于集成电路制造，这也表明，今年我国晶圆代工厂的建设热度不减，这也和如今的半导体投资热、芯片荒有关。

2021年1-11月进口离子注入机贸易伙伴变化（人民币/万元）

2021年1-11月进口离子注入机贸易伙伴分析

从进口离子注入机的贸易伙伴分布可以看出，主要进口的贸易伙伴为美国，占比约68%，其次为日本。集成电路离子注入机的市场份额高度集中。美国应用材料公司（曾收购 Varian）、Axcelis 占全球大部分市场份额，其中美国应用材料公司占有 50%以上市场份额。国内离子注入机市场基本被应用材料、Axcelis 和日本Sumitomo 垄断。目前美国对中国半导体行业制裁不断，离子注入机已成为卡脖子技术，日本可能成为替代选项之一。

那么这些离子注入机主要销往何处？通过对进口数据的注册地进行分析发现，安徽省的离子注入机进口额最高约10亿元，占比约18%。其次为上海市和北京市分列第二、第三。这些地区都是半导体产业发达地区，对半导体设备需求较大。国产IC离子注入机的发展处于起步阶段，离子注入机国产化依赖于万业企业（凯世通）和中科信，两家公司目前均有离子注入机台导入客户验证，有望弥补国内半导体设备行业的短板，与其他国产核心设备共同构建产业竞争优势。离子注入机已成为卡脖子技术，国产替代刻不容缓。

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