阿斯麦的“远虑”：光刻机之争与中国市场的崛起

除EUV光刻机外，其他产品都可以正常对中国客户供货。

选秧苗、盖房子、分拣商品……大显身手的机器人在本届进博会上，让观众近距离感受到了科技给生活带来的变化。而驱动智能化的芯片巨头们，也纷纷在此期间亮相。

11月5日，第四届中国国际进口博览会（以下简称“进博会”）如期开幕。这是新冠肺炎疫情全球大流行、世界经济低迷背景下，中国提供的重要国际交流平台。21世纪经济报道记者在现场看到，尽管展会主办方对于专业观众和参展人数都进行了限制，但是展商们依然做足了准备，展出最新的技术和设备。

值得一提的是，进博会首次在技术装备展区设立了集成电路专区，近7000平方米的专区内，涵盖了全球集成电路上游材料、中游加工及下游应用的头部企业。德州仪器、高通、AMD、阿斯麦光刻机等龙头公司展出了最新的产品和技术，高层的出席也吸引了诸多行业人士前来交流。

对于集成电路企业来说，没有人愿意错过中国市场。加大投资、本土研发、产研一体几乎是他们共同的选择。

对中国“保持开放”

来自荷兰的阿斯麦（ASML）公司，首次在进博会平台上，将EUV光刻机的内部运作原理，以3D裸眼视频形式向观众分享。此外，ASML还通过H5游戏的方式为观众带来了线上“追光实验室”，让参观者体验浸润式光刻系统，与双晶圆工作台等尖端前沿的光刻技术。

“近年来，中国集成电路行业发展十分强劲，增设集成电路专区有助于加强国内外集成电路产业间的交流，为加快构建新发展格局贡献力量。” ASML全球副总裁、中国区总裁沈波对21世纪经济报道记者表示，今年是ASML第三次参加进博会，希望能够通过平台进一步展示ASML领先的光刻解决方案和卓越的服务，深化与本土客户的合作。

作为下一代EUV光刻系统的唯一供应商，ASML在半导体价值链中拥有强大地位。公开财报显示，2021年第三季度，ASML的EUV光刻机出货共15台，占第三季度总营收比重为54%，平均每台约1.89亿欧元(约合人民币14.03亿元)。2021年前三季度，EUV光刻机共出货31台，预计全年出货45-50台。

从发货地来看，中国台湾超越韩国成为阿斯麦最大市场，占比为46%，环比增长10个百分点；韩国为阿斯麦第二大市场，占比为33%，环比下滑6个百分点；中国大陆和美国并列第三大市场，占比均为10%。其中，中国大陆的占比环比下滑7个百分点，美国的占比环比提升4个百分点。

中国台湾和美国的营收占比提升并不难理解。今年4月，台积电宣布，由于需求激增，未来三年将投资1000亿美元提高产能，三季度该公司7纳米和5纳米的营收占比已经超过5成，英特尔也在年初宣布200亿美元的扩产计划。

本次进博会上，沈波强调，公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度，在法律法规框架下全力支持。目前ASML除了EUV光刻机无法对中国客户供货外，其他产品都可以正常发货。

短期营收未受影响

光刻机需求在市场上一直保持强劲的态势。去年以来，欧美国家为了加强对半导体产业链的控制，纷纷吸引各大晶圆代工厂前去新建厂房，相对应的配套制造设备，也在进一步助推光刻机等半导体设备需求的上行。

也因此使得市场对ASML的EUV、DUV系统的需求达到历史新高。ASML首席财务官罗杰·达森认为，全球性的芯片短缺至少将持续到2022年。从商业角度看，数字化转型不仅推动了对最先进节点的需求，也推动了对成熟节点的需求。这种结合意味着，市场对ASML成熟和先进产品的需求将保持强劲。

另外，在汽车和其他逻辑制造商对成熟的28-90nm制程节点的需求推动下，中高端DUV光刻机的销售将继续强于预期，以ArFi光刻机为例，自2006年推出至今，始终保持着稳定的需求量，2021年第三季度ArFi共出货21台，贡献了32%的营收，平均每台约0.8亿欧元(约合人民币5.94亿元)。

拿不到向中国大陆出口EUV光刻机的许可，ASML的短期营收并未受到影响，但并不意味着没有远虑。

在ASML公司CEO温彼得看来，美国的出口管制措施可能会适得其反。他之前曾坦言，如果采取出口管制措施将中国市场拒之门外，只会加快中国自主研发的速度。在15年的时间里，中国将能够做出所有的这些东西，而且针对欧洲供应商的市场将彻底消失。

光刻机虽然被称为现代光学工业之花，制造门槛极高，却并不代表除了ASML外，其他的企业都无法生产。但是，在ASML之外，日系光刻机企业也在抢占市场。此番参加进博会，尼康展出的是全球唯一的半导体检查装置：AMI，兼具检查、计算和测量功能。这是尼康研发的用于生产中小液晶显示屏的光刻机。

上世纪八九十年代，尼康和佳能两大光学巨头市场份额一度超过80%。2000年前后，光刻机行业迎来第一个分水岭，2003年，ASML与台积电联合研发的第一台浸入式光刻机问世，另一边的尼康在投入巨额研发之后，采用157nm干式微影技术的光刻机也研发成功，但成本极高，性价比远不如193nm浸入式光刻机。

由此，光刻机行业进入第一个分水岭，尼康市场份额开始下滑，ASML崛起。

培养本土人才

对于参展的企业来说，无疑是向中国示好的举动。在本届进博会期间，中国商务部对外贸易司副司长张冠彬在同期举办的论坛上介绍说，2020年，中国集成电路产业规模达8848亿元人民币，“十三五”期间年均增速接近20%，是全球同期增速的4倍。2020年，中国集成电路进口额3500亿美元，占全球集成电路贸易总额近三分之一；出口额超过1100亿美元，是全国第一大单类贸易产品。

2000年，ASML中国正式成立。为了更好地支持和服务本土客户，ASML未来将着手建设本地维修和软件研发能力。沈波表示，半导体是一条高度全球化的产业链，开放合作是最核心的行业发展理念，ASML的光刻机也依赖于半导体产业全球合作生产。中国的半导体行业正进入快速发展的新阶段，对创新的光刻解决方案和优秀人才的需求与日俱增。

目前，ASML也在加快培养技术研发人才。今年以来，该公司开放了大量软硬件人才的职位，覆盖全方位光刻解决方案的各块业务。无独有偶，光刻机背后的重要供应商蔡司也参加了本次进博会，参展产品涵盖半导体制造、工业质量和研究、医疗技术与光学消费品四大业务部门。

蔡司中国研究显微镜解决方案业务集团副总裁张育薪称，由于半导体产业链庞大，当半导体产业链在地缘政治影响下受到冲击时，蔡司作为德国供应商，与中国公司存在多个合作机会，如在半导体检测设备领域，以及用于光刻胶研发等。

在他看来，中国一定会建立自己生态的半导体工业。但是不可能一切都自力更生，从头开始做，一定是要建立一种可控、可预期的、符合中国产业生态的供应链。

半导体产业上下游链条长、供应链复杂、行业门槛高，使得全球各家企业需要紧密合作，而非独善其身。毕竟，脱离了合作伙伴，任何一个国家都无法完全独立建立半导体产业链。

（作者：陶力,李强编辑：李清宇）