国产电镜怀柔论剑|第二届中国电镜产业化发展论坛在北京召开

2023年5月19日，ACCSI2023同期，由中国电子显微镜学会和仪器信息网联合主办的“第二届中国电镜产业化发展论坛”历经疫情延期，在北京怀柔的北京雁栖湖国际会展中心迎来召开。自2021年首届召开两年来，中国电镜产业局势风云变幻、百花齐放，有部分国产电镜的拆分快速发展，有贴息贷款新政和多项国家地方政策的助力，半导体工业电镜和一些新生力量的发展也不容小觑。怀柔论坛为快节奏发展下，驻足回首发展进程提供了契机。论坛吸引150余位关注中国电镜产业人士参会，中国电镜产业“半壁江山”汇集怀柔，群英怀柔论剑，谈产业发展，不论胜负。

雁栖湖国际会展中心

论坛现场

中国科学院电工研究所副所长韩立（左）、中国电子显微镜学会副秘书长毛圣成（右）主持会议

中国电子显微镜学会秘书长、北京大学教授高宁致辞

高宁教授在致辞中表示，近年来，在国际形势变化背景下，我国科学仪器产业受到很大挑战。一方面，购置国际品牌仪器受限，另一方面，以芯片为代表的诸多产业领域受到国际打压。因此，中国高精尖科学仪器产业化发展变得非常重要，电镜领域亦是如此。值得肯定的是，近年来，在座为代表的我国电镜产业界、包括中国电子显微镜学会许多成员团队都取得系列进展，在电镜国产化进程中发挥了重要作用。比如，材料科学方面，张泽院士、韩晓东教授团队分别在杭州和北京开展了系列电镜原位系统国产化工作；生命科学方面，徐涛院士、孙飞研究员团队等在广州开展了系列生命科学电镜国产化工作；半导体应用方面，孙立涛教授在东南大学开展了系列将国产电镜改造应用于芯片质控检测等等。

同时，中国电子显微镜学会也正在组建学会下设的电子光学仪器专业委员会，在此也诚邀电子光学和仪器制造领域专家学者、企业代表共同参与到新委员会的建设中来。

上一届中国电镜产业化论坛是在无锡召开，且非常成功，本次大家再次相聚怀柔，高宁最后表示，在此谨代表中国电子显微镜学会向参与第二届中国电镜产业化论坛的各位学术界专家、产业界精英们表示诚挚欢迎，并预祝本次论坛圆满成功。

北京大学教授毛有东分享怀柔大科学装置多模态跨尺度生物医学成像设施建设进展

北京雁栖湖国际会展中心紧邻怀柔科学城大科学装置，毛有东教授首先以“看见生命力”为主题，介绍了其参与建设的多模态跨尺度生物医学成像国家重大科技基础设施的建设情况。生命是最复杂的物质运动形式，从极微观到极宏观，生命跨越10个量级的时间和空间尺度。作为国之重器，该大科学装置类似一个“生命观象台”，以前所未有的方式融合光、声、电、磁、核素、电子等模态，结合信息与计算技术，形成影像组，以实现从埃到米、微秒到生命周期的全景式的结构与功能成像。接着分别介绍了医学成像、细胞成像、分子成像、全尺度数据处理中心等四大装置的团队代表，及装置建设进展。该大科学装置已于去年完成工程竣工，即将进入试运行阶段，预计明年年底实现验收。届时，该装置将基于全球咨询规划、全国共建共用，打造产学研用科研创新链，建成引领国际前沿的大规模综合性生物医学成像设施。

怀柔论剑之电镜整机产业：雨后春笋 蓬勃发展

近来，国产电镜整机企业在全国多地蓬勃发展，已然成为中国电镜市场不可忽视的一股新势力。有拆分发展，有新力量入场，更有国际形势和贴息贷款政策等内外部环境的助力。天时地利人和时，中国电镜产业迎来发展新时机。本次论坛，邀请六家代表性电镜整机企业分别介绍了各自进展及对中国电镜产业化的看法。同时，许多其他重要科研电镜和半导体电镜整机企业代表，如泽攸科技、惠然科技、屹东光学、上海精测、东方晶源等也悉数到场。

上至下、左至右：中科科仪尹贻恒博士、欧波同创新研究中心总监顾群、国仪量子副总裁曹峰、纳克微束总经理何伟、祺跃科技总经理/浙江大学教授张跃飞、聚束科技总经理李帅

作为国产电镜老牌企业，中科科仪近来布局了系列积极措施，去年在苏州一期总投资5亿元高端仪器装备产业化项目已开工建设，电镜业绩也实现显著增长。本次论坛，中科科仪尹贻恒博士主要分享了中科科仪在电子束偏转器技术方面取得的最新研究进展。电子束偏转器是扫描电镜、双束电镜、电子束曝光机、电子束焊接机等设备的关键器件之一。结合磁偏转器和静电偏转器优势，通过方案设计及参数优化研究、电磁场空间分布特征研究，中科科仪开发了电磁复合偏转器，同时实现大偏转范围和高偏转速度。最后介绍了中科科仪磁偏转器、静电偏转器和电磁复合偏转器应用案例。

欧波同创新研究中心总监顾群报告基于电镜用户近年来需求的变化，分享了欧波同从软件与人工智能角度为电镜产业提供系列定制化解决方案的进展。随着中国制造产业升级，扫描电镜方面，产业市场需求已超过科研市场，且对场发射扫描电镜需求比例逐渐走高。在产业升级的关键时刻，产业用户对显微分析要求高效、稳定、可继承等。此背景下，显微分析需要创新，需要数据化、标准化、智能化和定制化。欧波同旗下华鸿公司结合产业用户需求的变化，专注于工业领域微观智能图像分析应用解决方案，联合多家战略合作伙伴，不断开发搭建人工智能材料分析平台，如OTS钢铁夹杂物分析系统、OTS汽车清洁度分析系统、OTS锂电异物分析系统、MaipScan矿物分析系统等分析系统实现进口替代，也开发了国内外唯一或国际独创的系列工业分析系统。

国仪量子副总裁曹峰分享了国仪量子扫描电镜技术的最新进展与应用。国仪量子近年来在扫描电镜产品方面得到迅速扩充，目前产品包含了三款钨灯丝系列和两款场发射系列。且取得单年交付百台的突出成绩。报告首先逐一介绍了场发射扫描电镜SEM5000、SEM4000，及钨灯丝扫描电镜SEM3300、SEM3200等产品的参数指标、核心技术与对应成像效果。接着介绍了其电镜在扩展功能附件方面的更多选择，如ETD、BSED、STEM、样品交换仓等。操作软件方面，主要介绍了全中文操作、人性化交互操作等特点与应用案例。最后，关于国仪量子电镜发展路线，透露国仪量子即将推出更高分辨冷场发射扫描电镜以及双束电镜。

老面孔、新起点，纳克微束总经理何伟首先为大家介绍了纳克微束。公司成立于去年7月，为钢研纳克旗下控股子公司，为国内电镜制造商中唯一上市公司。经营目标为世界领先的全品类电子显微镜提供商。接着，谈了国产扫描电镜发展态势，国家战略支持、外部环境突变背景下，国内电镜企业如雨后春笋。可喜态势下，仍需打好基础、正视差距、守住初心。随后，介绍了国产扫描电镜技术的发展，从电镜各品类仪器技术出发，与进口主流品牌横向对比了国产电镜技术现状与差距。并介绍了纳克微束FE-1050系列产品与应用案例，其定位为国产标志性产品之一，即中大型、分析级、高分辨场发射扫描电镜。最后呼吁电镜同仁共同维护国产仪器荣誉、脚踏实地，努力实现电镜强国的目标。

祺跃科技总经理、浙江大学教授张跃飞分享了其扫描电镜原位仪器开发与产业化情况。公司成立于2019年，主要从事面向材料结构与性能一体化测试的原位扫描电镜科学仪器的研发、生产销售等。以往材料结构与性能离位表征方法，结构与性能信息不同步不对称。祺跃科技以扫描电镜为基础平台，建成全新的材料结构与性能一体化表征与评价系统。仪器亮点包括同等应力水平成像温度比同类产品高约450 ºC、1000℃以上空间分辨率比国际高2个数量级等。接着分享了原位高温扫描电镜产品技术特点与应用场景案例。最后关于国内电镜产业发展的思考，分享了若干国产电镜仪器产业机遇方向，并表示，科技强国，科技自立自强，需要高端科学仪器强国做基础支撑，为科技创新推动高质量发展提供内生动力。

聚束科技总经理李帅首先介绍了聚束科技概况，公司成立于2015年，成立以来始终耕耘中国创造，拥有完善电子光学研发生产平台和诸多电镜自主知识产权。2017年成功研发具备多倍视频级单束高通量扫描电镜NavigatorSEM-100，并在2019年首发，成为首款以“高通量”定名的扫描电镜类别，并斩获多项产品奖项，获广泛认可。接着，结合NavigatorSEM-100，从内部结构、SORRILTM镜筒、实时视频级SE+BSE信号成像与混叠等方面介绍了高通量扫描电镜的技术与优势。最后，基于产品上市多年的用户应用积累，分别从芯片分析、生物和病理分析、地质油气应用、高温合金材料应用等方面介绍了具体应用案例与优越成像效果。

电子工业出版社集成电路事业部主任牛平月主持新书宣讲活动

基础学科建设是电镜产业的基础，电子工业出版社集成电路事业部主任牛平月主持了《扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术（第2版）》新书宣讲活动，该书由工业和信息化部电子第五研究所组编，施明哲高级工程师编著，已被多所高等院校选作教材。现场并设置了抽奖赠书活动。

怀柔论剑之电镜周边技术产业：一些特色技术产业雏形已成

随着电镜整机技术的发展，一系列具有中国市场特色的电镜周边技术，如电镜原位系统、电镜制样设备、电镜实验室平台建设等也得到快速发展与成长。本次论坛也邀请了三位企业代表分别做了产业化进展分享。

左至右：百实创总经理李海鑫、云必科技市场部总监郭云昌、音宁科技总经理赵俊

百实创总经理李海鑫首先介绍了国内外电镜市场现状，近十余年来，中国电镜市场发展迅速，市场份额已达全球份额的四分之一。随着中国电子显微学的发展，原位电镜技术也得到了快速的发展，相应的国产原位电镜厂商脱颖而出，不管是从产品的功能、技术参数、价格和售后服务等方面都具有明显优势。接着，介绍了百实创取得的进展。围绕透射电镜原位技术难题，在张泽院士和韩晓东教授的带领下，经过十余年的自主研发，成功研制出 “原子分辨原位高温力学研究系统”首次实现1150℃高温下材料变形机理的原位原子层次研究。通过产学研合作，该技术在百实创成功实现成果转化，并推出INSTMES系列力热电原位研究系统。近2年来，已经先后交付到国内50余家重点实验室，同时，该系统已反向出口到德国、澳大利亚等海外发达国家。基于该项原位技术，研究人员先后取得一些列重大研究成果。其中，针对《面心立方材料弹塑性力学行为及原子层次机理研究》于2021年获评国家自然科学二等奖。

云必科技拥有全面的专业技术，协助客户定制化研发产品，或研发生产/分析设备，或改造生产/分析设备，或定制全流程智能化的实验室/生产线。云必科技郭云昌博士分享了其真空设备原位进样技术的最新发展。对于敏感样品，原位分析存在进样系统单一、同一样品很难实现各个真空设备之间原位流转等痛点。云必科技原位分析解决方案MUST IN2可以实现原位进样、原位互联、充放电附件、温控附件、高级客户定制等功能，具有多种功能合为一体 All-in-One；气驱动打开系统，避免电驱动对真空设备的电磁影响；在保证硬度的情况下，所有部件均为非磁性材料等优势。最后分别分享了锂电研究原位进样系统在扫描电镜和光镜上的应用案例。

音宁科技总经理赵俊首先介绍了公司概况，公司主要业务包括综合实验室平台建设、定制化科学方案设计、仪器设备销售、样品测试和技术咨询等。尤其在电镜实验室平台建设方面有多年的行业经验和优势。2021年音宁科技承建国内球差校正透射电镜套数达八成以上，2022年音宁科技承建国内300kV球差或冷冻电镜套数更是接近九成。市场的认可基于专业的设计方案和量测设备，用户案例分享部分，分别介绍了全球冷冻电镜与AI药物创新中心水木未来一期6台300kV冷冻电镜及多台200kV透射电镜实验平台建设项目、辽宁材料实验室规划安装28台电镜等设备建设项目、长江存储20台球差标准场地建设项目、厦门大学无噪声超精密加工与表征实验室建设项目等。

怀柔论剑之电镜核心部件产业：部分核心技术逐步攻克

科学仪器核心部件，是核心关键技术的结晶，是科学仪器创新的源泉。此次论坛也邀请了三位电镜核心部件企业代表，分别分享了电镜成像探测器、真空系统、电子源等相关技术进展。

左至右：生物岛实验室研究员、苏州德锐特创始人金亮，安捷伦真空事业部业务发展经理王传博，大束科技总经理郝占海

生物岛实验室研究员、苏州德锐特创始人金亮为大家分享了透射电镜直接电子成像技术的历史与展望。首先介绍了电镜成像探测器从胶卷到成像板，到MCP，到荧光闪烁体+CCD，到HPR/PAD，再到直接电子探测DED的技术发展历程。并介绍了DED探测器的原理和相比以往CCD的巨大优势，并逐一讲解了三大主流DED探测器商业化品牌的技术路线。DED探测器的成功应用也成为冷冻电镜技术实现分辨率革命的关键。接着介绍了在生物岛实验室开展的完全国产的DED原型机，该原型机可应用于低能电镜（LEEM），电子能量范围为10-30 kV。这也是一个起点，透射电镜的应用将是接下来的研究方向。最后，也分享了透射电镜探测器的未来展望，包括更快、更高、更强等，并期望助力国产透射电镜成像探测器能尽快产业化。

安捷伦真空事业部业务发展经理王传博首先分享了安捷伦真空技术从瓦里安&惠普时代起源到真空事业部的拆分重组的发展历程。接着介绍了安捷伦真空的全系产品和广泛应用，历经六十年激荡风云，目前拥有10个产品系列，7000多种型号，主要包括离子泵、分子泵、扩散泵、涡旋干泵、旋片泵、检漏、真空测量等。接着分享了安捷伦真空技术在电镜行业的解决方案，相关核心产品包括离子泵、涡轮分子泵、涡旋式干泵等，相关解决方案包括真空获取、系统设计、真空测量、密封接口、真空检漏等。

大束科技总经理郝占海以“以供应链思维促进中国电镜发展”为主题，分享了对当前电镜产业化现状下，供应链思维的重要意义。国产电镜产业当前同质化、外部依赖较强，国产产品还未形成竞争。电镜企业的发展将经历从技术竞争到资金竞争，再到供应链竞争三个阶段。供应链思维和供应链管理对于企业增强企业竞争力至关重要。供应链的建立需要与行业上下游及同行协同建立，供应链的培养需要降低企业自身的管理和研发成本，与供应链企业共同发展。接着介绍了大束科技概况，公司主要为电镜产业提供供应链服务，产品包括已生产的电子源、离子源、光阑等29种核心部件，也可以按照征集厂家定制生产。最后分享了关于“边界”的一些思考。

怀柔论剑之电镜产业讨论环节：内卷不可怕，良性竞争生态是长远之道

讨论环节集锦

讨论环节，大家围绕国际环境变化、政策形势、电镜整机和零部件产业化现状、发展痛点、“国产电镜”定义、良性竞争生态、内卷现象、人才培养、学科建设等话题展开讨论，纷纷对中国电镜现阶段产业化如何健康快速发展进行了建言献策。

参会代表合影留念