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据报道,光刻机巨头ASML宣布扩产EUV与DUV乃至于下世代EUV设备计划。业界预计,从客户应用来看,晶圆代工需求最强,特别是先进制程技术投资不易降低,将持续带动ASML长期增长明朗。ASML说明,计划将年产能增加到90台EUV和600台DUV系统(2025-2026年),以及20台High-NA EUV系统(2027-2028年)。
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