东方晶源首台8英寸CD-SEM交付国内客户- 工业快报

东方晶源首台8英寸CD-SEM交付国内客户

产业资讯 / 来源：工业快报 / 作者：工业快报 / 发布时间：2022-04-13

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近日，东方晶源首台8英寸关键尺寸量测装备（CD-SEM）出机国内知名集成电路制造和整体方案提供商燕东微电子。自2021年6月首台12英寸CD-SEM出机，时隔短短9个月，东方晶源在电子束量测领域再次取得重大进展，彰显出深厚的技术实力、丰富的市场化经验以及快速的研发能力。此次出机，将进一步夯实东方晶源在国内电子束检测、量测市场的领先地位。

东方晶源首台8英寸关键尺寸量测设备（型号：SEpA-c300）基于东方晶源12英寸关键尺寸量测设备的技术积累，面向90nm以上技术节点的成熟工艺。具有对标12英寸主流设备的成像分辨率、百微米级大视场成像能力、多样化量测算法，可以满足客户对不同产品线、多种应用场景下的量测需求。进驻燕东微电子后，将通过实际产线验证，进一步提升、完善设备性能，助力客户提供更具竞争力的产品，提高服务能力。

近年来，受下游需求影响，8英寸晶圆代工厂产能持续紧缺。但由于12英寸已经逐渐成为了主流尺寸，半导体设备厂商也将业务重心向12英寸厂倾斜，设备短缺成为当下8英寸厂扩产的难点之一。以关键尺寸量测设备为例，目前市场上流通的8英寸设备绝大多数是二手翻新设备，具有性能指标不高及设备稳定性差等问题。东方晶源洞悉到晶圆代工厂这一痛点，充分发挥在电子束检测、量测领域的技术优势，积极响应，快速推出8英寸关键尺寸量测设备，成功解决产业又一难题，对推动我国半导体产业稳定发展具有重大意义。

随着半导体工艺节点不断向前推进，电子束检测的重要性愈加凸显。东方晶源凭借先发优势以及强大的研发投入，在电子束检测、量测领域积累了雄厚的技术实力，成绩斐然。承担国家02重大专项——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目并验收通过；首台套电子束缺陷检测设备（EBI）已完成产线验证并获得重复订单；加速推出多款关键尺寸量测设备并取得多个订单。东方晶源在电子束检测、量测领域不断取得重要产品技术突破，填补多项国内相关领域空白。