8253万元预算！中科院苏州纳米所2022年仪器采购意向盘点- 工业快报

8253万元预算！中科院苏州纳米所2022年仪器采购意向盘点

产业资讯 / 来源：工业快报 / 作者：工业快报 / 发布时间：2022-04-13

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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（以下简称“苏州纳米所”）近日在中国政府采购网上发布2022年仪器采购意向，总采购预算高达8253万元，拟采购仪器品类包括HF/XeF2气相刻蚀设备、MBE-原位生长动力学研究设备、常压金属有机物化学气相沉积设备、超高真空管道、磁控溅射设备、低温强磁场综合物性测试设备、电子束蒸发台、多源有机蒸发镀膜设备、镜面反射吸收红外-程序升温脱附设备（原位红外吸收光谱）、镜面反射吸收红外-程序升温脱附设备（原位红外吸收光谱）-真空腔体、临时键合解键合机、脉冲激光沉积设备、湿氧氧化炉、原位Mask器件级图案化分子束外延设备、原位扫描电子显微镜、原位扫描电子显微镜-真空腔体、真空解离与钝化设备、准原位光谱系统。预计采购时间在2022年6月、10月和12月。其中12月采购仪器最多，拟采购15台（套）仪器；而6月和10月将分别采购2台（套）仪器和1台（套）仪器。从仪器采购需求上看，多数拟采购仪器应用于半导体研究领域。

苏州纳米所由中国科学院与江苏省人民政府、苏州市人民政府和苏州工业园区于2006年共同创建，定位于纳米技术的应用基础研究和产业化，前瞻布局了电子信息、纳米材料、生物医学等重点研究领域，建设了纳米真空互联实验站、纳米加工平台、测试分析平台、生化平台4个集科研攻关与公共服务于一体的公共技术平台；密切围绕重点攻关领域，产出了一批原创性科技成果，自主研发了一系列仪器设备，形成了具有自身特点的科研体系。

中科院苏州纳米所2022年仪器采购意向

序号	采购项目名称	采购品目	采购需求概况（点击查看）	预算金额(万元)	预计采购日期
1	临时键合解键合机	A032199-其他电工、电子专用生产设备	详见项目详情	450	2022年6月
2	湿氧氧化炉	A032199-其他电工、电子专用生产设备	详见项目详情	450	2022年6月
3	电子束蒸发台	A02100499-其他分析仪器	详见项目详情	190	2022年10月
4	常压金属有机物化学气相沉积设备	A032199-其他电工、电子专用生产设备	详见项目详情	1374	2022年12月
5	磁控溅射设备	A032199-其他电工、电子专用生产设备	详见项目详情	732	2022年12月
6	真空解离与钝化	A032199-其他电工、电子专用生产设备	详见项目详情	555.36	2022年12月
7	原位Mask器件级图案化分子束外延设备	A032199-其他电工、电子专用生产设备	详见项目详情	897	2022年12月
8	低温强磁场综合物性测试设备	A032199-其他电工、电子专用生产设备	详见项目详情	440	2022年12月
9	HF/XeF2气相刻蚀设备	A032199-其他电工、电子专用生产设备	详见项目详情	200	2022年12月
10	脉冲激光沉积设备	A032199-其他电工、电子专用生产设备	详见项目详情	312.39	2022年12月
11	原位扫描电子显微镜	A02100399-其他光学仪器	详见项目详情	280	2022年12月
12	原位扫描电子显微镜-真空腔体	A032199-其他电工、电子专用生产设备	详见项目详情	180	2022年12月
13	镜面反射吸收红外-程序升温脱附设备（原位红外吸收光谱）	A032199-其他电工、电子专用生产设备	详见项目详情	250	2022年12月
14	镜面反射吸收红外-程序升温脱附设备（原位红外吸收光谱）-真空腔体	A032199-其他电工、电子专用生产设备	详见项目详情	235.94	2022年12月
15	多源有机蒸发镀膜设备	A032199-其他电工、电子专用生产设备	详见项目详情	315	2022年12月
16	准原位光谱系统	A032199-其他电工、电子专用生产设备	详见项目详情	341	2022年12月
17	MBE-原位生长动力学研究设备	A032199-其他电工、电子专用生产设备	详见项目详情	600	2022年12月
18	超高真空管道	A02052401-真空获得设备	详见项目详情	450	2022年12月