预算约1.5亿元！中科院微电子所2022年仪器采购意向汇总- 工业快报

为优化政府采购营商环境，提升采购绩效，《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定要求各预算单位按采购项目公开采购意向，内容应包括采购项目名称、采购需求概况、预算金额、预计采购时间等。近两年来，各大高校、科研院所等纷纷在相关平台公布本单位政府采购意向。

中国科学院微电子研究所（以下简称“微电子所”）是国内微电子领域学科方向布局最完整的综合研究与开发机构，是国家科技重大专项集成电路装备及工艺前瞻性研发牵头组织单位，是中国科学院大学微电子学院（国家示范性微电子学院）的依托单位，是中国科学院集成电路创新研究院的筹建依托单位。微电子所目前拥有2个基础研究类中国科学院重点实验室（微电子器件与集成技术重点实验室、硅器件技术重点实验室），5个行业服务类研发中心（EDA中心、集成电路先导技术研发中心、系统封装与集成研发中心、中科新芯三维存储器研发中心、光刻总体部），7个行业应用类研发中心（通信与信息工程研发中心、新能源汽车电子研发中心、健康电子研发中心、智能感知研发中心、智能制造电子研发中心、智能电子系统研发中心、电磁信息智能应用研究中心），4个核心产品类研发中心（硅器件与集成研发中心、高频高压器件与集成研发中心、微电子仪器设备研发中心、光电研发中心）。

微电子所与北京大学、清华大学、复旦大学等高校和武汉新芯、上海华力、华润微电子、北方微电子等企业结为战略合作伙伴，在北京、江苏、湖北、四川、广东、湖南等省市开展科技成果转移转化，在我国微电子领域拥有广泛的影响，为支撑我国微电子产业核心竞争力发挥了不可替代的重要作用。

成果的产出和人才的培养都离不开仪器的支持，微电子所每年都会投入一定的经费采购科学仪器，以建立具有国际先进水平的实验研究和测试平台。

为方便仪器信息网用户及时了解仪器采购信息，本文特对微电子所2022年仪器设备类政府采购意向进行了整理汇总。共收集到21个采购项目，预算金额相加约1.5亿元，采购品目涉及示波器、探针台、ALD、键合机、清洗机、退火炉等多种仪器类型。

中国科学院微电子所2022年政府采购意向汇总表

序号	采购项目名称	采购品目	预算金额(万元)	预计采购日期	项目详情
1	5.7寸移动作业终端	A021199-其他电子和通信测量仪器	200	3月	详情链接
2	示波器	A032199-其他电工、电子专用生产设备	134	3月	详情链接
3	多通道高精度阻抗谱分析子系统	A02100305-电子光学及离子光学仪器	285.24	4月	详情链接
4	直流-6GHz 多频段微弱电信号高性能分析测试平台	A02100305-电子光学及离子光学仪器	389.8	4月	详情链接
5	12英寸晶圆贴膜揭膜减薄一体机	A032199-其他电工、电子专用生产设备	1200	5月	详情链接
6	12英寸芯片至晶圆微米级混合键合一体机	A032199-其他电工、电子专用生产设备	4930	5月	详情链接
7	PA-连续波/脉冲功率测试系统	A02100305-电子光学及离子光学仪器	440	5月	详情链接
8	精密电感耦合等离子刻蚀系统	A032199-其他电工、电子专用生产设备	350	5月	详情链接
9	12吋晶圆底填机	A032199-其他电工、电子专用生产设备	130	6月	详情链接
10	12吋晶圆助焊剂清洗机	A032199-其他电工、电子专用生产设备	600	6月	详情链接
11	12英寸超薄晶圆划片机	A032199-其他电工、电子专用生产设备	170	6月	详情链接
12	12英寸晶圆化学机械抛光机	A032199-其他电工、电子专用生产设备	1700	6月	详情链接
13	12英寸晶圆键合退火炉	A032199-其他电工、电子专用生产设备	200	6月	详情链接
14	12英寸晶圆清洗机	A032199-其他电工、电子专用生产设备	300	6月	详情链接
15	大功率快脉冲测试仪	A032199-其他电工、电子专用生产设备	215.23	6月	详情链接
16	高精度靶点识别与成型设备	A032199-其他电工、电子专用生产设备	140	6月	详情链接
17	三维堆叠键合机	A032199-其他电工、电子专用生产设备	700	6月	详情链接
18	大功率高温探针台	A032199-其他电工、电子专用生产设备	250.3	7月	详情链接
19	清洗设备研发	A032199-其他电工、电子专用生产设备	125	7月	详情链接
20	多场原位电子全息三维高分辨成像系统	A02100305-电子光学及离子光学仪器	1635	12月	详情链接
21	多腔室新型高k金属栅ALD生长系统	A032199-其他电工、电子专用生产设备	850	12月	详情链接

值得而注意的是，微电子所除了采购仪器设备外，还采购了总额超四千万的流片服务。在集成电路设计领域，“流片”指的是“试生产”，就是说设计完电路以后，先生产几片几十片，供测试用。如果测试通过，就照着这个样子开始大规模生产了。

流片服务采购意向汇总

序号	采购项目名称	采购品目	预算金额(万元)	预计采购日期	项目详情
1	砷化镓流片和SOI流片加工	C0908-其他专业技术服务	810	3月	详情链接
2	流片加工	C0908-其他专业技术服务	130	2月	详情链接
3	新型存储器流片加工服务	C0908-其他专业技术服务	300	3月	详情链接
4	测试调试	C0908-其他专业技术服务	120	5月	详情链接
5	芯片流片	C0908-其他专业技术服务	120	5月	详情链接
6	小芯片加工制造	C0908-其他专业技术服务	150	6月	详情链接
7	芯片分析	C0908-其他专业技术服务	150	6月	详情链接
8	MPW投片费	C0908-其他专业技术服务	170	7月	详情链接
9	流片	C0908-其他专业技术服务	195	7月	详情链接
10	流片、制版	C0908-其他专业技术服务	190	7月	详情链接
11	流片、制版	C0908-其他专业技术服务	255	7月	详情链接
12	流片、制版	C0908-其他专业技术服务	509	44743	详情链接
13	封装加工服务	C0908-其他专业技术服务	250	12月	详情链接
14	流片费	C0908-其他专业技术服务	100	12月	详情链接
15	流片加工服务	C0908-其他专业技术服务	700	12月	详情链接