宽禁带联盟对《碳化硅单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》等五项团体标准进行研讨及审定

2022年1月13日,根据中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟(以下简称“宽禁带联盟”)团体标准制定工作程序要求,联盟秘书处组织召开了宽禁带联盟2022年度第一次团体标准评审会。本次评审会采取线上评审的形式,分别对《碳化硅单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》等五项团体标准进行了研讨及审定。

线上评审

评审会由宽禁带联盟秘书长刘祎晨主持,厦门大学张峰教授、中国科学院物理研究所王文军研究员、中国科学院半导体研究所金鹏研究员、孙国胜研究员、刘兴昉副研究员、国网智能电网研究院有限公司杨霏教授级高工、中科院电工所张瑾高工、工业和信息化部电子第四研究院闫美存高工、北京聚睿众邦科技有限公司总经理闫方亮博士、北京天科合达半导体股份有限公司副总经理刘春俊研究员、国宏中宇科技发展有限公司副总经理赵子强、北京世纪金光半导体有限公司技术主任何丽娟、北京三平泰克科技有限责任公司郑红军高工等宽禁带联盟标准化委员会委员参加了本次会议。

会上,各牵头起草单位代表就标准送审稿或草案的编制情况进行了详细汇报,与会专家针对标准技术内容、专业术语、技术细节、标准格式、标准规范等内容等方面进行了深入的讨论,并提出了很多宝贵意见,最后经联盟标准化委员会与会委员表决,形成如下决议:

1. 通过《碳化硅单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》(牵头单位:国宏中宇科技发展有限公司)一项送审稿审定;

2. 通过《碳化硅外延层载流子浓度测试方法-非接触电容-电压法》、《碳化硅栅氧的界面态测试方法—电容-电压测试法》(牵头单位:芜湖启迪半导体有限公司),《金刚石单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》、《金刚石单晶位错密度的测试方法》(牵头单位:中国科学院半导体研究所)四项草案初审。

同时标准化专家组建议各标准工作组要根据专家审查意见对各项标准进一步修改完善,尽快形成报批稿或征求意见稿,报送至联盟秘书处。联盟将按照标准制定工作计划进度要求,有条不紊地推动标准工作。

宽禁带联盟一直以来都高度重视团体标准工作的发展,有责任和义务不断提升标准化水平,为引领行业技术发展提供重要支撑。同时,联盟也将积极探索推进与国标委的互动,协同推动优秀的团体标准上升为行业标准、国家标准,不断提升国家标准的水平。

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