国产低能离子注入机研发成功：攻破芯片领域又一卡脖子技术

前不久芯片领域又传来捷报，我国第一台低能离子注入机正式投入生产。这使得我国在打通整条供应链的道路上又迈进了一大步，而且还是极为关键的一步。

华为创始人任正非曾经说过，国内拥有顶尖的芯片设计能力，却无法单独实现量产，这是因为国内的基础工业水平不足，导致缺少相关核心设备的支持。无独有偶，台积电张忠谋也曾表示，国内大陆只要做好芯片设计就行了，制造环节交给台积电。

这很好地反映出了一个事实，芯片制造过程就是国内半导体事业最大的短板，而其主要影响因素来自于设备上的差距。就比如说大家熟知的光刻机，直到现在国内连一台高端的EUV光刻机都没有，这直接限制了国产芯片的进步和崛起。

而且不止是光刻机，国内对其它的一些核心设备，也存在很高的需求，这些都是国产公司必须要攻克的难题。那么就目前来看，关于半导体设备，国内有没有取得一些进展和突破呢？

国产“低能离子注入机”完成认证

大家都知道，芯片产业链主要分为三个环节，分别是设计、生产和封测，其中在设计和封测方面，国产公司都不逊色于国外巨头；唯独在最为重要的芯片生产领域，国内努力研发了几十年，却还是没有达到先进水平，每年都需要从国外大量进口芯片。

然而随着美国一纸规则的下达，国外厂商都开始拒绝向华为等中企供货，这让国内意识到了只有将技术掌握在自己手里，才能拥有更大的话语权。为此，国产半导体公司坚定了自主研发的决心，全面进军芯片制造市场，致力于彻底摆脱受制于人的局面。

再加上国内的大力扶持，最近这一年来，国产芯片先后传来了很多好消息。例如上海微电子的光刻机，已经达到了28nm精度，预计年底就能正式投入使用。还有就是最近有媒体报道称，国产“低能离子注入机”完成认证，又解决了一项难题。

自从我们和老美的科技战正式拉响之后，我国的科技企业就不断攻克难关掌握了许多核心技术。

前不久芯片领域又传来捷报，我国第一台低能离子注入机正式投入生产。这使得我国在打通整条供应链的道路上又迈进了一大步，而且还是极为关键的一步。然而这项技术却被老美以卑鄙方式套取并抄袭，这究竟是怎么回事呢？

什么是低能大束流离子注入机

可能很多人都不知道“低能离子注入机”是干什么用的，毕竟它不像光刻机那么出名。但其实与光刻机一样，“低能离子注入机”也是一种非常关键的半导体设备，主要功能是将几百千伏电子能量的离子，注入到生产好的硅片中，改变其载流子浓度和导电类型。

简而言之，“低能离子注入机”就是向硅片注入离子的核心设备，同样能在芯片制造环节中发挥出重要的作用。而且离子注入机也有区别，目前一共有三大类，分别是低能大束流注入机、中束流注入机和高能注入机。

在芯片制造的过程中，向硅晶圆注入离子是一项非常关键的步骤，通过注入离子可以在晶圆表面形成一层金属膜，而后续集成电路的制造和完善都要建立在这个基础上。因此，这一工艺的精密程度，直接决定了整个芯片的工艺水平。

离子注入机是芯片制造的最核心的设备之一，其制造难度和研发难度都相当复杂，可以毫不夸张地说，离子注入机无论是在重要性方面，还是在制造难度方面，只仅次于光刻机。

而在离子注入机所有类型当中，低能大束流离子注入机更是制造工艺最复杂，技术难关最多的一类离子注入机。

相比于其他类型的离子注入机，性能更高、离子输出更稳定、对晶圆的损伤更小，因此目前低能大束流离子注入机已经成为许多高端芯片制造厂商的首选。

另外，“低能离子注入机”可满足7nm等高端制程芯片的生产要求。

打破技术壁垒，跻身世界前列

在过去的很长一段时间内，我国芯片企业使用的离子注入机都来源于从国外进口。

不仅如此，许多国内企业还买不到最先进的机型，只能使用较为落后的机型，甚至是国外已经淘汰的，好几代以前的机型，这种情况十分不利与我国企业的发展。

而就在上个月国内一家名叫凯世通的公司成功突破了技术壁垒，成功研制出了国内的第一台低能大束流离子注入机。这意味着我们成功攻克了芯片制造领域的又一个难题，离技术自主又成功迈进了了大步。

而且这台低能大束流注入机已经将技术提升到了7nm，这意味着这台离子注入机完全能够满足目前国内手机芯片所需要的工艺。

目前这台机器已经顺利通过了多次测试，并且正式投入了生产阶段。这是国内芯片技术领域的又一个里程碑式的成就。

老美以卑鄙的手段套取技术并抄袭

此外，值得一提的是，凯世通的“低能离子注入机”，曾被美国窃取重要技术，好在后来及时发现了。

由此不难看出，美企并没有想象中那么领先，其掌握的很多核心技术，都是靠抄袭和借鉴得来的。反观我们国内的各大公司，则是凭借自身的实力来攻克难关，凯世通就是最好的例子，如今其首台国产“低能离子注入机”正式上线，证明了自己的领先！

首先，美企AIBT企图用重金向凯世通公司购买这项技术。但是凯世通公司深知这项技术对于中国芯片产业的意义，如果把这项技术的所有权交到老美手中，那么老美必将以此对我国进行新一轮的技术封锁。

然而AIBT并没有就此放弃，AIBT以技术交流为名与凯世通公司达成了长期合作，骗取凯世通公司的信任。随后，AIBT成功通过付费购买到了凯世通研发制造的离子注入机。

然而，凯世通公司发现AIBT在购得低能大束流离子注入机之后对机器进行了拆解，并且以此掌握了凯世通的许多核心技术。

并且AIBT在未经过凯世通公司同意的情况下，擅自将凯世通公司的核心技术应用到了自己研发的新设备之中。面对AIBT这种无耻行为，凯世通公司向法院提交的诉讼材料，不过老美的法院大家都懂，目前这场诉讼还了无音讯。

总结

老美在科技领域向来是卑鄙无耻的，面对好的技术老美就会隐藏不住自己的贪婪，想要不择手段把技术据为己有。因此中企在与美企进行合作的时候，一定要注意知识产权的保护，不要左后辛苦科研反倒为他人做了嫁衣。

不过，这件事也从侧面反映了凯世通公司的技术已经达到了世界领先标准，在凯世通公司的帮助下，我国已经在离子注入机领域打破了老美的封锁，相信未来凯世通公司能够更进一步，获得更大的成就。

文章来源： 科技听者，青源科技谈