又一国家重大仪器项目通过验收- 工业快报

又一国家重大仪器项目通过验收

产业资讯 / 来源：工业快报 / 作者：工业快报 / 发布时间：2021-11-05

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国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目“二维电子材料及纳米量子器件的研究和原位分析仪器”验收会在微电子所召开。基金委副主任陆建华，基金委信息科学部主任郝跃、常务副主任张兆田、副主任何杰，中科院副院长李树深，条财局副局长曹凝，微电子所党委书记、副所长（主持工作）戴博伟，微电子所副所长王文武，党委副书记、纪委书记赵志刚，中国科学院江风益院士、吴德馨院士、刘明院士、张跃院士、彭练矛院士及项目组成员共80余人参加会议。

　　该项目由微电子所牵头承担。项目组提出并发明了电场调控原子层沉积技术（E-PEALD），率先实现了RHEED原位实时原子层沉积材料的动态测量与分析，研发出晶圆级MoS2二维材料，制备了MoS2晶体管及逻辑电路，完成了低温石墨烯制备及纳米修饰，实现了国际领先水平的碳基弹道输运晶体管。为北方华创公司提供ALD原理及关键腔室设计和制备，为解决集成电路高K介质制备等难题提供了关键技术支撑；相关技术形成了ALD品牌产品，销售200余台，支持了中微子探测等多项关键重大科学研究；促进了北京碳基集成电路研究院建设。

　　验收专家组由22位技术、财务、档案专家组成，江风益院士任组长。验收会上，专家组听取了项目负责人夏洋研究员的结题汇报、监理组监理情况汇报、仪器测试报告、财务验收意见、档案验收意见，就相关问题进行了质询和讨论，现场考察了研制仪器设备运行情况。

　　验收专家组一致认为，该项目完成了资助项目计划书规定的全部任务，实现了仪器的全部技术指标，达到了预期目标；研制工作取得了丰硕的成果，攻克了电场调控原子层沉积二维材料生长、器件制备和原位分析等关键技术，碳基材料、MoS2等二维材料及器件指标达到国际领先水平；仪器整机达到国际先进水平，具有独创性。