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一、量测设备主要类型
工艺过程量测设备是指在晶圆制造过程检测某一工艺完成质量的设备，因此，由于存在多种测量指标，量测设备种类较多。举例可包括膜厚检测、方块电阻检测、膜应力检测、折射率检测、掺杂浓度检测、关键尺寸检测、无/有图形表面缺陷检测等等。
资料来源：公开资料整理
二、半导体前道量测设备行业市场现状分析
据统计，2020年全球半导体设备市场规模为711亿美元，若半导体前道测试设备占比为12%，则2020年全球半导体前道检测设备市场规模为85.3亿元，预计2023年全球半导体前道检测设备市场规模将达到121.6亿元。
资料来源：Semi，华经产业研究院整理
国内市场方面，据统计，2020年中国大陆半导体设备市场规模为187.2亿美元，同比增长39.2%，中国大陆半导体前道检测设备市场规模为22.5亿美元。
资料来源：Semi，华经产业研究院整理
相关报告：华经产业研究院发布的《2021-2026年中国半导体设备行业投资分析及发展战略研究咨询报告》
三、半导体前道检测设备行业格局
据统计，前道检测设备领域，科磊独占52%的份额，应用材料、日立高新则分别占比12%、11%，CR3合计占比接近80%，市场集中度较高，且基本被海外公司所垄断，国内企业市场份额不足1%。
资料来源：公开资料整理
前道量测设备进一步细分为量测设备、缺陷检测设备以及过程控制软件，据统计，其中缺陷检测设备约占前道检测设备的55%，量测设备占前道量测设备的34%，过程控制软件占11%。
资料来源：公开资料整理
进一步按产品细分，膜厚测量占比约12%、OCD测量设备占比10%、形貌测量占比约6%、套刻误差测量占比9%、CD-SEM测量占比约12%；缺陷检测中有图形晶圆检测占比32%、无图形晶圆检测占比5%、电子束检测占比11%、宏观缺陷检测占比6%。
资料来源：公开资料整理
四、国外半导体前道测量设备龙头企业——KLA
科磊是IC领域最大量检测公司，半导体工艺控制是最主要收入来源。通过20余年的发展，截止2021财年，KLA的营收已达到69.2亿美元，同比增长19.2%，归母净利润为20.78亿美元，同比增长70.7%，成为集成电路领域规模最大、覆盖面最广的量检测公司。
资料来源：公司公告，华经产业研究院整理
资料来源：公司公告，华经产业研究院整理
科磊在检测设备领域市占率有绝对优势，在晶圆形貌检测、无图形晶圆检测、有图形晶圆检测领域市占率分别达到85%、78%、72%，具有绝对垄断优势。
资料来源：Semi，华经产业研究院整理
五、国内半导体前道量测设备重点企业
目前国内三家公司均有产品实现突破，都有产品进入一线产线验证，但都出货量不多，未来一旦产品验证效果好，有较高国产替代空间。三家公司产品涉及领域互有重叠，未来有相互竞争的可能性，新品类的扩充是重要的发展方向。
资料来源：公开资料整理
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