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每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问公司PECVD技术设备是否有技术布局？或者未来准备做？
中微公司（688012.SH）10月22日在投资者互动平台表示，在薄膜设备领域，公司目前已经组建团队在开发LPCVD设备和EPI设备，研发进展按计划进行中，同时公司将在适当时机通过并购等外延式成长途径扩大产品和市场覆盖。
(记者 王晓波)
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每日经济新闻
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