设备｜至纯科技引入4.2亿元战投！以扩大湿法设备生产

丝毫不受减持半导体龙头的影响，国家集成电路产业投资基金股份有限公司(简称“大基金”)二期马不停蹄地再次布局半导体领域。

10月18日晚间，至纯科技公告，公司控股子公司至微半导体(上海)有限公司(简称“至微科技”)拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。

根据公告，本次新引入的战略投资者共有8家，合计向至微科技增资4.2亿元。其中就包括大基金二期，其余增资方也均来头不小。

10月19日，至纯科技方面回应媒体称，本次引入战投主要是以扩大湿法设备生产为主，目前的计划是5年200台。

至纯科技有何过人之处，引来大基金二期的青睐？据了解，大基金虽然时有减持计划流出，但并未整体退出半导体领域，而是做了结构性的调整，尤其是转移到上游急缺资金卡脖子的制造和代工、设备等领域。那么，大基金目前在后者的布局如何？

至纯科技是何方神圣？

根据公告，至微科技本次拟引入投资方包括：远致星火、大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、平潭溥博芯诚股权投资合伙企业（有限合伙）、上海芯晟至远企业管理合伙企业（有限合伙），合计向至微科技增资4.2亿元，其中7644万元计入注册资本，其余34356万元计入资本公积。

本次增资前，至微科技注册资本为4.55亿元，估值25亿元（增值率485.36%），对应5.4945元/注册资本。增资后，至纯科技持有至微科技的股份由99.34%降至77.11%；大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡分别持有3.42%、3.42%、1.71%、1.03%、1.03%的股权。

按上述比例测算，大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金的投资金额分别为1亿元、1亿元、5000万元、3000万元。

本次增资前，根据收益法评估，至微科技股东全部权益价值评估值为25.02亿元，较其合并口径下的归属于母公司所有者权益4.28亿元增值20.75亿元，增值率485.36%。

本次增资的同时，至纯科技将持有的至微科技对应本次增资4.2亿元后的7.95%股权以2.32亿元的价格转让给远致星火。以此估算，此时至微科技的整体估值已经达到29.18亿元。

湿法设备快速发展新增订单4.3亿

在半导体的生产过程中，清洗设备尤为重要，可以让晶圆以最佳状态进曝光机，避免曝光机因晶圆背面缺陷问题（金属和颗粒），把停机的时间降到最低。

虽然成立时间不长，但至微科技作为承载上市公司重要战略决策“从工艺装备支持系统到工艺装备”、投入湿法设备研发和产业化的主体，得到了产业投资者的重点关注。

自2017年初上市后，至纯科技就将有限资源全部投入到半导体业务中的湿法设备的研发和产能建设，同时投入资源将高纯工艺系统设备产能也扩充了两倍。其子公司至微科技就成立于2017年，主营业务为半导体湿法清洗设备的研发、生产与销售。

公司介绍，至微科技成立以来，完成了系列化产品的研发、制造和销售，累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。

截至今年上半年末，至纯科技整体业务新增订单达到17.2亿元，达到去年全年新增订单的88%。上半年新增订单中，整个半导体板块新增订单14.2亿元，其中湿法设备新增订单4.3亿元，达到上一年度全年湿法设备订单的85%，湿法设备订单中单片设备新增订单2亿元。公司半导体业务继续行驶在发展快车道上。

此次为子公司增资扩股引入核心战略投资者，至纯科技也将进一步加快至微科技成为国内湿法设备领头羊的战略目标。

随着半导体业务板块的持续发力，至纯科技的盈利能力大幅提升。2019年和2020年，公司分别实现营业收入9.86亿元、13.97亿元，同比增长46.34%、41.63%；净利润1.1亿元、2.61亿元，同比增长239.88%、136.36%。今年上半年，至纯科技实现营收和净利润9.2亿元、1.5亿元，同比增长76.51%、395.51%，业绩增速继续走高。

据公司披露，2020年至微科技实现营业收入2.03亿元、-1335.34万元。今年上半年，至微科技扭亏为盈，实现营业收入2.81亿元，净利润1336.63万元，上年同期，至微科技的营业收入和净利润分别为0元、10.9万元。

加速布局半导体设备领域

目前半导体设备本土生产上升到国家战略层面，半导体设备也被公认为最“卡脖子”的环节之一。

就工艺而言，清洗是贯穿半导体产业链的重要工艺环节，每一代制程升级将带来平均15%的清洗步骤增长，重要性凸显。据台湾工研院数据，2020年半导体清洗设备市场空间49亿美元，2025年将达67亿美元。当前全球清洗设备市场由日韩巨头垄断，2018年，DNS、TEL、SEMES、Lam四家厂商占据了90%以上的市场份额。

根据信达证券的研报，国内有至纯、北方华创、盛美、芯源微四家厂商重点布局，当前湿法清洗设备国产化率约达20%。

公告显示，至纯科技已具备生产8-12寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术，目前已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证。

作为半导体清洗设备的重点厂商之一，至纯科技受到顶级产业基金的青睐也就不足为奇。