半导体设备的稳定运行卓越售后是关键——访武汉光迅科技股份有限公司高级芯片工艺工程师余兵- 工业快报

近年来，中国化合物半导体市场蓬勃发展，随着产业客户数量和设备装机量激增，客户也对设备厂商的服务水平提出了更高要求。在设备性能满足需求的前提下，售后品质成为了用户采购设备时越来越关注的因素。为促进产业交流，推动厂商为用户提供更优质高效的售后服务，仪器信息网特邀请用户代表为半导体设备行业售后服务现状与未来发声。

近日，仪器信息网采访了武汉光迅科技股份有限公司的高级芯片工艺工程师余兵老师，余兵老师在访谈中介绍了半导体行业对生产设备及晶圆表征分析方面的需求，还提到牛津仪器售后服务工程师的专业与细心，以及高配合度。

受访人：余兵

余兵，武汉光迅科技股份有限公司，高级芯片工艺工程师；主要负责介质膜生长、金属镀膜、干法刻蚀、退火合金、晶圆减薄等芯片工艺。

仪器信息网：请您简要介绍您所在行业领域？您的主要工作研究内容以及其意义？

余兵老师：我所在的行业是光通信器件和光通信芯片。主要的工作内容是光通信芯片的研发和制造。

光芯片在多个领域都有广泛的应用，如通信领域、光学测量领域和医疗器械领域等。在通信领域中，光芯片可以实现高速、高效、远距离的光信息传输和信号处理。在光学测量领域中，光芯片可以实现高精度、高稳定性的光学测量和传感。在医疗器械领域中，光芯片可以实现高精度、小型化的医疗设备和治疗方法。

仪器信息网：您主要使用牛津仪器的哪些仪器设备？采购这一品类设备的过程中，您综合考量了哪些因素？

余兵老师：主要使用的牛津仪器设备包括：PECVD、RIE、ICP-RIE以及EDS能谱仪等。采购刻蚀这一类型的半导体工艺设备，我们一般会更加关注设备稳定性和生产一致性，当然服务支持的专业性和时效性也非常重要；如果是能谱仪的话，技术支持的及时性会考虑得更多。

武汉光迅现场的牛津仪器PlasmaPro 100 Cobra ICP系统

仪器信息网：您使用过牛津仪器哪些形式的售后服务？您如何评价牛津仪器的售后服务？

余兵老师：使用过牛津仪器的远程售后支持以及现场的技术支持。牛津仪器在国内拥有较为强大的售后团队，售后人员均有较高的技术能力；线上和线下的服务响应度都很高，现场服务基本能够做到48小时内抵达现场。

仪器信息网：对于牛津仪器在线商城、仪器培训、应用支持、维护保养、升级服务、设备搬家、远程在线智能支持等提供的售后服务，您有哪些印象深刻的案例分享？

余兵老师：牛津仪器客户服务的现场支持工作是很到位的。有一次印象较深的是有一次周五设备下电极出现大的故障。由于设备生产任务较重，必须尽快恢复设备，和牛津仪器客户服务工程师沟通以后，他们自愿协调工作时间，周六加急上门帮忙处理故障，解了我们的燃眉之急。

仪器信息网：您对牛津仪器售后服务工程师有着怎样的印象？在与牛津仪器售后工程师的交流中有着怎样的收获？

余兵老师：牛津仪器的售后工程师，给我的最大的印象是专业、细心。半导体设备的维护和维修，首先要有专业的技能，能够熟知设备基本构造，并对设备的易故障点如数家珍，才能最快速地发现设备问题；其次，也需要有足够的细心，不会因为大意留下故障隐患，造成设备二次维修。

除了优秀的职业素养之外，牛津仪器工程师们也提供了很多专业建议。比如平时工作中，出于研发需求，我们经常会针对工艺设备的一些特殊部位进行定制改造，需要牛津仪器提供详细的设备部件图，一般牛津仪器的工程师都会第一时间提供给我们，并且给出详细的改造建议，对我们的研发提供了非常大的支持。

仪器信息网：针对您当下或者潜在的需求，您希望未来牛津仪器能够提供或进一步改善哪些售后服务？

余兵老师：听说牛津仪器目前正在国内建立本地备件库，希望进一步加强零配件需求的时效性。

后记：

牛津仪器表示：武汉光迅科技股份有限公司的高级芯片工艺工程师余兵老师对牛津仪器客户服务的认可和信赖，代表了牛津仪器客户服务秉承着以客户为中心的理念，通过加速布局在中国发展，扩建遍布全国的客户支持网络，在快速增长的化合物半导体行业也能紧跟用户步伐，帮助客户取得成功。

除光通信领域之外，牛津仪器等离子技术部在功率半导体领域也有诸多技术创新。高效的电源开关和电力转换器件使诸如电动汽车、本地电源和网络配电等新技术成为可能。利用诸如SiC和GaN等材料可提升器件性能并实现更低的能量损耗。牛津仪器对如何使用诸如原子层沉积、等离子体刻蚀及等离子体沉积的工艺解决方案制造更优化器件有深刻的理解。

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